导语：CINNO Research统计数据表明，2021年中国大陆已上市设备制造商中，设备商的半导体相关业务营收最大的前十大公司合计达182亿元，较2020年增长73%，创历史新高。

受益于5G、AIoT、电动汽车等应用的市场需求增长，推升芯片需求旺盛的同时，也带动半导体制造设备市场的持续扩大。全球半导体产能紧缺而引发的扩产潮，使得多家设备商2021年度经营业绩表现亮眼，营收创历史新高。

半导体设备处于整个半导体制造产业链的上游，其技术发展的速度在整个半导体产业中有着举足轻重的地位。国内半导体制造设备起步较晚，由于核心设备技术门槛相对较高，市场竞争格局较难打破。

近几年来，国产半导体设备厂商通过自主研发，已在多个工艺制程中实现了设备的国产化替代，并进入产业化量产阶段，并涌现出了北方华创、中微公司、盛美上海等优秀的半导体装备商。除上市企业外，未上市与申请上市中的屹唐半导体、中电科、上海微电子等也是中国大陆半导体设备商的中坚力量。

图示：2021年国内上市公司半导体设备业务营收排名Top10   来源：CINNO Research

Top 1 北方华创
主营半导体装备、真空装备、电子元器件等，其半导体业务覆盖了刻蚀、沉积、清洗等主要半导体制造设备，2021年半导体设备营收71.2亿元，同比增长71%，稳居中国大陆榜首。

Top 2 中微公司
专注于半导体刻蚀设备和沉积设备，2021年营收31.1亿元，同比增长37%。

Top 3 盛美上海
半导体清洗设备市场国内领导厂商， 2021年半导体装备业务营收15.5亿元，同比增长59%。

Top 4 长川科技
主营半导体测试设备，包括测试机、分选机、探针台等，2021年营收15.1亿元，同比增长88%。

Top 5 新益昌
主营业务为封装用固晶机、电容老化测试设备等，其在中国大陆LED固晶机领域有领先地位，2021年其固晶机业务营收9.1亿元，同比增长71%。

Top 6 华峰测控
国内最早进入半导体测试设备行业的本土设备商之一，2021年设备业务营收8.8亿元，同比增长121%。

Top 7 芯源微
主营半导体晶圆制造中的湿制程设备，包括涂胶显影、刻蚀、清洗设备等，2021年营收8.3亿元，同比增长152%。

Top 8 华海清科
主营化学机械抛光设备，适用于晶圆制造及先进封装的关键制程，2021年营收8.0亿元，同比增长109%。

Top 9 拓荆科技
聚焦于半导体薄膜沉积设备，2021年营收7.6亿元，同比增长74%。

Top 10 至纯科技
主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等，2021年半导体设备业务营收7.0亿元，同比增长222%。

注：(1)本排名包含集成电路制造、封测及LED等功率器件半导体设备商；(2)本次统计数据中未纳入申报上市中/非申报上市的企业。